[发明专利]基于模块的工艺设备、工艺设备控制装置及方法有效
| 申请号： | 201810179929.3 | 申请日： | 2018-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN108563196B | 公开（公告）日： | 2021-03-05 |
| 发明（设计）人： | 崔相镇;金男东;姜东希;朴永濬 | 申请（专利权）人： | ENSCAPE有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418;B65G47/90;B65G47/52 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 姜虎;陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开基于模块的工艺设备、工艺设备控制装置及方法。基于模块的工艺设备，包括：多个模块，分别具备固有的模块标识符；及控制部，从多个模块接收与多个模块对应的多个模块标识符，基于所接收的多个模块标识符确定需对工艺对象实施的工艺，根据所确定的工艺来控制至少一个模块，以对工艺对象实施工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 模块 工艺设备 控制 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于模块的工艺设备，包括：多个模块，分别具备固有的模块标识符；及控制部，从上述多个模块接收与上述多个模块对应的多个模块标识符，基于所接收的上述多个模块标识符确定需对工艺对象实施的工艺，根据所确定的上述工艺来控制至少一个上述模块，以对上述工艺对象实施上述工艺。
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