[发明专利]基于轴向扫描的锥镜面形检测系统及检测方法

摘要

一种基于轴向扫描的锥镜面形检测系统及检测方法，检测系统包含：波面测量干涉仪，球面参考镜、汇聚镜、工件台和安装插口，待测锥镜安装在工件台上，其轴线与干涉仪光轴平行，汇聚镜的焦点位于锥镜轴线上，波面测量干涉仪测量锥镜表面法线环带区域的面形，通过工件台在锥镜轴线方向扫描定位，测量对应锥镜不同口径位置的环带面形，完成锥镜全口径面形的测量。具体测量过程：在安装插口安装球面参考镜，将凹锥镜置于工件台上，通过扫描完成凹锥镜面形W1的测量；在安装插口上将球面参考镜更换为汇聚镜，加入凸锥镜，完成凹锥镜和凸锥镜的组合面形W2的测量，凸锥镜的面形为W2‑W1。本发明具有测量精度高、测量成本低的特点。

主权项

1.一种锥镜面形的检测方法，其特征在于，该方法包含以下步骤：/n1)将球面参考镜(2)安装在所述的安装插口(8)上，将待测凹锥镜(5)安装在工件台(4)上；/n根据球面参考镜的焦点确定工件台(4)的扫描起点位置P，使球面参考镜(2)的焦点接近待测凹锥镜(5)的顶点区域；根据待测凹锥镜(5)的口径确定工件台(4)的扫描终点位置Q，使经过球面参考镜(2)后形成汇聚光波与待测凹锥镜(5)表面相切的的环带位置位于待测凹锥镜(5)最大口径位置；将P和Q之间的距离进行N等分，N为正整数，即分为N+1个测量位置；/n2)将工件台(4)定位至起始点P，并令i＝0；/n3)调整测量装置，观察到干涉图，并使得干涉图中干涉环基本对称；/n4)使用波面测量干涉仪(1)进行第i次测量，得到第i个干涉环相位结果W