[发明专利]正交静电悬浮加速度计敏感结构

摘要

本发明公开了一种正交静电悬浮加速度计敏感结构，正交静电悬浮加速度计敏感结构包括敏感质量块和电极，敏感质量块包括分别沿X轴、Y轴及Z轴延伸的X轴测量管、Y轴测量管及Z轴测量管，电极为多个，多个电极非接触安装在敏感质量块上以向敏感质量块施加静电悬浮力和反馈控制力，以使敏感质量块处于悬浮状态。根据本发明实施的正交静电悬浮加速度计敏感结构，敏感质量块形成中空结构使得相同的支承电压下电极能提供较大的支承力，从而扩大了量程。此外，由于正交静电悬浮加速度计敏感结构的整体结构紧凑，能够实现三轴加速度的同步测量，测量的集成度较高，各轴的测量和控制的同步性较好实现，简化了测量及控制电路。

主权项

1.一种正交静电悬浮加速度计敏感结构，其特征在于，包括：敏感质量块，所述敏感质量块包括分别沿X轴、Y轴及Z轴轴向两侧延伸的X轴测量管、Y轴测量管及Z轴测量管；电极，所述电极为多个，多个所述电极非接触安装在所述敏感质量块的多个各测量管周围，且所述电极分别在所述X轴测量管、Y轴测量管及Z轴测量管上成对设置，每对所述电极均分别位于相应测量管的内侧和外侧；其中：所述X轴、所述Y轴及所述Z轴形成为直角坐标系，通电时多个所述电极对所述敏感质量块施加静电悬浮力和反馈控制力，以使所述敏感质量块处于悬浮状态。