[发明专利]一种气体传感器及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201810182256.7 申请日: 2018-03-06
公开(公告)号: CN108490043B 公开(公告)日: 2020-07-31
发明(设计)人: 李胜夏;任大勇;蓝河 申请(专利权)人: 上海幂方电子科技有限公司
主分类号: G01N27/26 分类号: G01N27/26;G01N27/30
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201612 上海市松江*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及一种气体传感器及其制备方法。本发明气体传感器以柔性材料为衬底、纳米碳材料为气敏材料、微阵列电极为电极层;通过刮涂气敏材料水性分散液实现了气体传感器中气敏材料层制备工艺的简化、快速大面积制备,同时避免了现有技术中喷涂、旋涂等工艺造成的材料浪费,降低了成本;通过喷墨打印制备微阵列电极可实现电极图案的任意定制,从而增大传感器的电流响应,使传感器具有较高的灵敏度,与现有技术中光刻、蒸镀法等电极制备工艺相比,具有简单易操作、成本低、利于大规模制备的特点。
搜索关键词: 一种 气体 传感器 及其 制备 方法
【主权项】:
1.一种气体传感器,包括:柔性衬底;气敏材料层;电极层;其中,所述气敏材料层为纳米碳材料薄膜,所述电极层为微阵列电极。
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