[发明专利]振动器件、振荡器、陀螺仪传感器、电子设备和移动体有效

专利信息
申请号: 201810182370.X 申请日: 2018-03-06
公开(公告)号: CN108631749B 公开(公告)日: 2023-10-10
发明(设计)人: 大槻哲也;井出次男 申请(专利权)人: 精工爱普生株式会社
主分类号: H03H9/08 分类号: H03H9/08;H03H9/19;G01C19/574
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 邓毅;徐丹
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提供振动器件、振荡器、陀螺仪传感器、电子设备和移动体,可减少伴随热应力的变形的影响。振动器件(1)具备:振动元件(10),其具有振动部(12)和固定部(16);支承部件(18),其与固定部(16)接合而支承振动元件(10);和第一基板(32),其与支承部件(18)接合,支承部件(18)具有与第一基板(32)接合的接合部(20),从厚度方向俯视观察振动元件(10)时,在设包含固定部(16)的矩形区域的面积为A1、包含接合部(20)的矩形区域的面积为A2的情况下,满足A1≥A2。
搜索关键词: 振动 器件 振荡器 陀螺仪 传感器 电子设备 移动
【主权项】:
1.一种振动器件,其特征在于,所述振动器件具备:振动元件,其具有振动部和固定部;支承部件,其与所述固定部接合而支承所述振动元件;和基板,其与所述支承部件接合,所述支承部件具有与所述基板接合的接合部,从所述振动元件的厚度方向俯视观察时,在设包含所述固定部的矩形区域的面积为A1、包含所述接合部的矩形区域的面积为A2的情况下,满足A1≥A2。
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