[发明专利]振动器件、振荡器、陀螺仪传感器、电子设备和移动体有效
申请号: | 201810182370.X | 申请日: | 2018-03-06 |
公开(公告)号: | CN108631749B | 公开(公告)日: | 2023-10-10 |
发明(设计)人: | 大槻哲也;井出次男 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | H03H9/08 | 分类号: | H03H9/08;H03H9/19;G01C19/574 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 邓毅;徐丹 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供振动器件、振荡器、陀螺仪传感器、电子设备和移动体,可减少伴随热应力的变形的影响。振动器件(1)具备:振动元件(10),其具有振动部(12)和固定部(16);支承部件(18),其与固定部(16)接合而支承振动元件(10);和第一基板(32),其与支承部件(18)接合,支承部件(18)具有与第一基板(32)接合的接合部(20),从厚度方向俯视观察振动元件(10)时,在设包含固定部(16)的矩形区域的面积为A1、包含接合部(20)的矩形区域的面积为A2的情况下,满足A1≥A2。 | ||
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【主权项】:
1.一种振动器件,其特征在于,所述振动器件具备:振动元件,其具有振动部和固定部;支承部件,其与所述固定部接合而支承所述振动元件;和基板,其与所述支承部件接合,所述支承部件具有与所述基板接合的接合部,从所述振动元件的厚度方向俯视观察时,在设包含所述固定部的矩形区域的面积为A1、包含所述接合部的矩形区域的面积为A2的情况下,满足A1≥A2。
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