[发明专利]具有平面内正交补偿的MEMS装置在审
| 申请号： | 201810183892.1 | 申请日： | 2018-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN108535505A | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 阿龙·A·盖斯贝格尔 | 申请（专利权）人： | 恩智浦美国有限公司 |
| 主分类号： | G01P3/44 | 分类号： | G01P3/44 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 倪斌 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | MEMS装置包括质量系统，所述质量系统能够沿着驱动轴进行振荡驱动运动并沿着垂直于所述驱动轴的感测轴进行振荡感测运动。正交补偿单元包括固定和可移动电极，每个固定和可移动电极沿着所述驱动轴纵向取向。所述可移动电极耦合到所述质量系统。所述固定电极具有呈现第一阶梯式轮廓的第一边缘且所述可移动电极具有面向所述第一边缘的第二边缘，所述第二边缘呈现第二阶梯式轮廓。所述固定和可移动电极定位成紧邻配置，使得当所述可移动电极不进行振荡运动时，所述第一与第二边缘之间的间隙具有对应于所述第一和第二阶梯式边缘轮廓的变化宽度。 | ||
| 搜索关键词： | 可移动电极 质量系统 驱动轴 阶梯式轮廓 正交补偿 阶梯式边缘 感测运动 固定电极 振荡驱动 振荡运动 纵向取向 感测轴 耦合到 振荡 垂直 配置 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS装置，其特征在于，包括：耦合到基板且在第一方向上纵向取向的固定电极，所述固定电极具有第一边缘，所述第一边缘呈现第一阶梯式边缘轮廓；以及耦合到可移动质量系统的可移动电极，所述可移动电极在所述第一方向上纵向取向，所述可移动质量系统和所述可移动电极被配置成在所述第一方向上进行振荡运动，所述可移动电极具有面向所述第一边缘的第二边缘，所述第二边缘呈现第二阶梯式边缘轮廓，其中当所述可移动电极不进行所述振荡运动时，所述第一与第二边缘之间的间隙具有对应于所述第一和第二阶梯式边缘轮廓的变化宽度。
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