[发明专利]传感器器件、力检测装置以及机器人在审
申请号: | 201810183998.1 | 申请日: | 2018-03-06 |
公开(公告)号: | CN108534922A | 公开(公告)日: | 2018-09-14 |
发明(设计)人: | 河合宏纪;宫坂英男 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G01L1/16 | 分类号: | G01L1/16 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 张永明;玉昌峰 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供了能够提高外力的检测精度的传感器器件、力检测装置以及机器人。传感器器件具有:第一部件,具有凹部;力检测部,设置在所述凹部内,且包括根据外力而输出信号的至少一个压电元件;以及粘结部件,设置在所述力检测部和所述凹部的底面之间,且具有绝缘性;至少一个电极,设置在所述力检测部;至少一个端子,设置在所述第一部件;以及至少一个连接部,将所述电极和所述端子电连接,所述连接部具有在从所述力检测部和所述底面重叠的方向观察时与所述粘结部件重叠的部分,所述底面具有由金属构成的部分,所述力检测部在从所述力检测部和所述底面重叠的方向观察时与所述底面的由所述金属构成的部分重叠。 | ||
搜索关键词: | 力检测部 底面 传感器器件 凹部 力检测装置 方向观察 粘结部件 电极 金属 人本发明 输出信号 压电元件 电连接 绝缘性 机器人 检测 | ||
【主权项】:
1.一种传感器器件,其特征在于,具有:第一部件,具有凹部;力检测部,设置于所述凹部,且包括根据外力而输出信号的至少一个压电元件;粘结部件,设置在所述力检测部和所述凹部的底面之间,且具有绝缘性;至少一个电极,设置于所述力检测部;至少一个端子,设置于所述第一部件;以及至少一个连接部,将所述电极和所述端子电连接,所述连接部具有在从所述力检测部和所述底面重叠的方向观察时与所述粘结部件重叠的部分,所述底面具有由金属构成的部分,所述力检测部在从所述力检测部和所述底面重叠的方向观察时与所述底面的由所述金属构成的部分重叠。
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