[发明专利]一种自由曲面在线实时检测方法及装置在审
| 申请号： | 201810184293.1 | 申请日： | 2018-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN108662986A | 公开（公告）日： | 2018-10-16 |
| 发明（设计）人： | 冯海华;厉以宇;朱德喜;陈浩 | 申请（专利权）人： | 温州医科大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 温州金瓯专利事务所(普通合伙) 33237 | 代理人： | 江亮 |
| 地址： | 325000 浙江省温州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种自由曲面在线实时检测方法及装置。主要解决了现有技术无法在自由曲面通过光学元件在线实时检测的问题。本发明提供一种自由曲面在线实时检测方法及装置，采用光学相干层析技术和加工控制系统相配合，本检测装置可便捷地安装在被测样品加工设备的刀具轴平台上，与加工设备系统联动配合，使得测量光束可扫描覆盖被测样品全口径，实现全面形测量，无需拼接就能实时在线地获取全部面形数据，同时不受被测样品表面梯度的限制，具有结构紧凑，装卸便捷、灵活等优点，另外无需取下工件，可将检测结果直接反馈给加工设备控制系统，进行合理补偿修复加工面形，提高加工生产质量，降低废品率。 | ||
| 搜索关键词： | 在线实时检测 自由曲面 被测样品 加工设备 光学相干层析技术 加工控制系统 加工设备系统 表面梯度 测量光束 光学元件 合理补偿 加工生产 检测结果 检测装置 控制系统 联动配合 面形数据 实时在线 直接反馈 刀具轴 可扫描 全口径 形测量 面形 取下 拼接 装卸 修复 灵活 覆盖 加工 配合 | ||
【主权项】：
1.一种自由曲面在线实时检测装置，包括底座(10)，其特征在于：所述底座上设有用于与光信号处理单元(1)连接的扫描系统单元(2)，所述扫描系统单元(2)包括扫描器(21)，所述扫描器一端用于接收由光信号处理单元(1)发射的测量光束(7)；所述扫描器内设有可自转的第一反射振镜(211)和可自转的第二反射振镜(206)，所述第一反射振镜的自转轴与第二反射振镜的自转轴相对垂直设置；所述扫描器内还设有物镜(207)和用于将测量光束(7)反射到被测样品(5)表面的分束镜(210)；所述第一反射振镜(211)、第二反射振镜(206)、物镜(207)和分束镜均设于测量光束(7)所在的光路上。
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