[发明专利]高频发生器和等离子体处理装置

摘要

本发明提供了一种输出的高频的功率和相位的控制的精度高的高频发生器。在一个实施方式的高频发生器中，通过由矢量乘法器进行的IQ调制和由放大器进行的放大而生成的高频被输出部输出。定向耦合器输出包含行波的一部分的第一高频和包含反射波的一部分的第二高频。控制部通过包含4个多项式的运算的第一矩阵运算，来求取输出部的行波的同相成分和正交成分以及反射波的同相成分和正交成分的各自的推算值，其中，4个多项式的每一个包括第一高频的同相成分和正交成分以及第二高频的同相成分和正交成分作为多个变量。控制部基于这些的推算值，决定用于矢量乘法器的IQ调制的同相信号的电平和正交信号的电平。

主权项

1.一种高频发生器，其特征在于，包括：矢量乘法器，其能够对高频原信号进行IQ调制来生成调制波；放大器，其能够将所述调制波放大来生成放大高频，并输出该放大高频；循环器，其具有第一端口、第二端口和第三端口，能够由第一端口接收来自所述放大器的所述放大高频，将被输入到该第一端口的高频从该第二端口输出，将被输入到该第二端口的高频从该第三端口输出；与所述第二端口连接的输出部；定向耦合器，其能够输出包含从所述放大器传递到所述输出部的行波的一部分的第一高频，并输出包含返回到所述输出部的反射波的一部分的第二高频；和控制部，其能够基于所述第一高频的同相成分和正交成分以及所述第二高频的同相成分和正交成分，来决定所述矢量乘法器的所述IQ调制所使用的同相信号的电平和正交信号的电平，所述控制部能够执行包含4个多项式的运算的第一矩阵运算，来求取所述输出部的所述行波的同相成分的第一推算值、该输出部的该行波的正交成分的第二推算值、该输出部的所述反射波的同相成分的第三推算值和该输出部的该反射波的正交成分的第四推算值，其中，所述4个多项式的每一个包括所述第一高频的所述同相成分和所述正交成分以及所述第二高频的所述同相成分和所述正交成分作为多个变量，并能够决定所述同相信号的所述电平和所述正交信号的所述电平，以减少至少根据所述第一推算值和所述第二推算值求取的所述输出部的高频的功率的推算值和相位的推算值的、对功率的目标值和相位的目标值的误差，所述第一矩阵运算中使用的系数的矩阵，是按照能够从所述第一高频的所述同相成分和所述正交成分以及所述第二高频的所述同相成分和所述正交成分得到所述第一推算值、所述第二推算值、所述第三推算值和所述第四推算值得到的方式预先决定的。