[发明专利]一种遮蔽框及化学气相沉积装置

摘要

本发明公开一种遮蔽框，该遮蔽框可与一承载台结合，以遮蔽位于承载台上基板的周围区域。此遮蔽框包括遮蔽外框和遮蔽内框，在遮蔽外框远离承载台的一面凸设有至少一限位装置，遮蔽内框通过该限位装置套设于遮蔽外框上，使遮蔽内框相对于遮蔽外框水平方向固定但竖直方向活动。本发明还公开一种化学气相沉积装置，包括上述遮蔽框。通过上述结构，实现遮蔽框与基板的贴合效果好。

主权项

1.一种遮蔽框，可与一承载台结合，以遮蔽位于承载台上基板的周围区域，所述遮蔽框包括遮蔽外框和遮蔽内框，其特征在于，所述遮蔽外框远离所述承载台的一面凸设有至少一个限位装置，所述遮蔽内框通过所述限位装置套设于所述遮蔽外框上，使所述遮蔽内框相对于所述遮蔽外框水平方向固定但竖直方向活动。