[发明专利]一种新型集成电路芯片制造装置在审
申请号: | 201810189052.6 | 申请日: | 2018-03-08 |
公开(公告)号: | CN108428647A | 公开(公告)日: | 2018-08-21 |
发明(设计)人: | 潘军权 | 申请(专利权)人: | 广州雅松智能设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 510660 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种新型集成电路芯片制造装置,包括机体,所述机体底面四个角上分别固定设置有脚座,每个所述脚座底部设置有滚动轮,所述机体内左右延长设置有工作腔,所述机体顶端面上设置有与所述工作腔相通的出槽,所述机体顶端面上在所述出槽右侧设置有向下通贯所述工作腔且与所述工作腔相通的进槽,所述工作腔底端壁左侧设置有沉接槽,本发明结构简单,生产制造成本低廉,基板的冲压操作简单快捷,大大增加了基板冲压的工作效率,同时减少了人力物力的浪费,简化了集成电路芯片制造的步骤,操作简单,生产效率高,冲压出的小的基板精度高,有效满足了现有对于基板的使用需求,且能够对小的基板进行成批量的加工作业。 | ||
搜索关键词: | 工作腔 基板 冲压 芯片制造装置 新型集成电路 机体顶端 脚座 相通 集成电路芯片制造 生产制造成本 工作效率 固定设置 机体底面 人力物力 生产效率 底端壁 滚动轮 接槽 进槽 加工 | ||
【主权项】:
1.一种新型集成电路芯片制造装置,包括机体,其特征在于:所述机体底面四个角上分别固定设置有脚座,每个所述脚座底部设置有滚动轮,所述机体内左右延长设置有工作腔,所述机体顶端面上设置有与所述工作腔相通的出槽,所述机体顶端面上在所述出槽右侧设置有向下通贯所述工作腔且与所述工作腔相通的进槽,所述工作腔底端壁左侧设置有沉接槽,所述工作腔左端壁上设置有向下延长且与所述沉接槽相通的竖槽,所述工作腔右侧的上下两端壁中相应设置有上滑接槽和下滑接槽,所述机体中位于所述工作腔右侧设置有上下延长设置的传输腔,所述机体中位于所述下滑接槽左侧设置有第二容腔,所述机体中位于所述竖槽下方设置有向右延长且与所述第二容腔相通的第一容腔,所述第一容腔底端壁中设置有左右延长的横接槽,所述工作腔中设置有可左右移动的金属块,所述金属块上下两端面上相应设置有与所述上滑接槽和下滑接槽滑接配合的上挡块和下挡块,所述上滑接槽和下滑接槽中设置有左右延长且分别与所述上挡块和下挡块螺状纹配合连接的第一螺杆和第二螺杆,所述第一螺杆和第二螺杆右端均向右延长到所述传输腔中且分别固定连接有上传输轮和下传输轮,所述上传输轮和下传输轮之间连接有传输带,所述第二螺杆左端向左延长到所述第二容腔中且固定连接有第一锥状轮,所述沉接槽中设置有向左延长到所述竖槽中的板件,所述竖槽中上下延长设置有与所述板件螺状纹配合连接的第四螺杆,所述第四螺杆底端向下延长到所述第一容腔中且固定连接有第二锥状轮,所述横接槽中设置有可左右移动的滑接架,所述横接槽中左右延长设置有与所述滑接架螺状纹配合连接的第三螺杆,所述第三螺杆右端与第一驱动器动力连接,所述滑接架顶端面上设置有第二驱动器,所述第二驱动器的输出轴上固定连接有用以与所述第一锥状轮或者所述第二锥状轮齿合传输的传输锥状轮,所述第二驱动器上设置有隔音减振装置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造