[发明专利]一种压阻式压力传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201810189689.5 | 申请日： | 2018-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN110243506A | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 朱朋莉;马龙;孙蓉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | G01L1/20 | 分类号： | G01L1/20;C23C14/02;C23C14/20;C23C14/35;B29C33/38;B29C33/40;B29C41/02 |
| 代理公司： | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人： | 袁文英 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明适用于压力传感器技术领域，提供了一种压阻式压力传感器，包括：叠加在一起的平板电极和柔性微结构电极，所述平板电极包括PDMS基底及覆盖在PDMS基底表面的导电层，所述柔性微结构电极包括表面呈波浪形的柔性微结构PDMS基底及覆盖在柔性微结构PDMS基底表面的导电层和保护层；其中，柔性微结构PDMS基底的制备方法是将固化好的PDMS基底预拉伸，并进行等离子刻蚀和释放预拉伸得到刚性的波浪微结构，以此为模板，用液态PDMS将微结构复刻下来即可；所述导电层和保护层为通过磁控溅射方法溅射的金属材料；这种压阻式压力传感器制备工艺简单，金属导电层和柔性微结构电极的引入，显著提高了传感器的稳定性和灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 微结构 基底 压阻式压力传感器 电极 导电层 基底表面 平板电极 保护层 预拉伸 制备 压力传感器技术 等离子刻蚀 金属导电层 金属材料 呈波浪形 磁控溅射 制备工艺 传感器 灵敏度 覆盖 溅射 固化 波浪 叠加 释放 引入 | ||
【主权项】：
1.一种压阻式压力传感器，其特征在于，包括：叠加在一起的平板电极和柔性微结构电极，还包括从所述平板电极引出的一根导线和从所述柔性微结构电极引出的一根导线；所述平板电极包括聚二甲基硅氧烷PDMS基底及覆盖在所述PDMS基底表面的导电层，所述柔性微结构电极包括表面呈波浪形的柔性微结构PDMS基底及覆盖在所述柔性微结构PDMS基底表面的导电层和保护层；所述导电层和所述保护层为通过磁控溅射方法溅射的金属材料。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院深圳先进技术研究院，未经中国科学院深圳先进技术研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810189689.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
