[发明专利]基于三电极表面介质阻挡放电的大气压等离子体发生装置有效
| 申请号： | 201810190266.5 | 申请日： | 2018-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN108282950B | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 章程;甘汶艳;邵涛;王瑞雪;严萍 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电工研究所 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 北京君泊知识产权代理有限公司 11496 | 代理人： | 王程远;胡玉章 |
| 地址： | 100080 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于三电极表面介质阻挡放电的大气压等离子体发生装置。所述等离子体发生装置包括两个相对布置的竖直介质板和若干个均匀固定在两个竖直介质板上的放电单元，所述放电单元左、右对称布置且均分布在两个竖直介质板的外侧；高压平板电极位于两个竖直介质板的之间并紧密贴合；其中，每个放电单元均包括水平介质板，所述水平介质板垂直固定在所述竖直介质板上；在所述水平介质板的上表面紧贴有直流电极，在所述水平介质板的下表面紧贴有地电极，整个地电极上封装有热熔胶；每侧的相邻放电单元之间距离最小为10mm。本发明可产生大面积低温等离子体，有效提高等离子体产生效率。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 电极 表面 介质 阻挡 放电 大气压 等离子体 发生 装置 | ||
【主权项】：
1.一种三电极表面介质阻挡放电的大气压等离子体发生装置，其特征在于，所述等离子体发生装置包括两个相对布置的竖直介质板和若干个均匀固定在两个竖直介质板上的放电单元，所述放电单元左、右对称布置且均分布在两个竖直介质板的外侧；高压平板电极(1)位于两个竖直介质板的之间并紧密贴合；其中，每个放电单元均包括水平介质板，所述水平介质板垂直固定在所述竖直介质板上；在所述水平介质板的上表面紧贴有直流电极(2)，在所述水平介质板的下表面紧贴有地电极(3)，整个地电极(3)上封装有热熔胶(4)；每侧的相邻放电单元之间距离最小为10mm；所述等离子体发生装置放置于反应腔(8)中，所述反应腔(8)的两侧分别开有气孔，且通过导气管分别与废气收集器(9)以及回收器(11)连接；另外，所述反应腔(8)上还设有三个导线孔，分别用于高压平板电极(1)与纳秒脉冲电源(6)的连接、直流电极(2)与直流电源(7)的连接以及地电极(3)的接地连接。
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