[发明专利]高分辨率X射线衍射方法和装置有效
申请号: | 201810190461.8 | 申请日: | 2018-03-08 |
公开(公告)号: | CN108572184B | 公开(公告)日: | 2022-02-11 |
发明(设计)人: | D·贝克尔斯;亚历山大·哈尔陈科;米伦·加特什基;尤金·鲁维坎普 | 申请(专利权)人: | 马尔文帕纳科公司 |
主分类号: | G01N23/20 | 分类号: | G01N23/20;G01N23/20008 |
代理公司: | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人: | 张瑞;杨明钊 |
地址: | 荷兰阿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明公开了高分辨率X射线衍射方法和装置。用于高分辨率测量的X射线衍射装置将具有小于50的原子序数Z的靶的X射线源的使用与具有像素阵列的能量分辨X射线探测器以及用于从X射线源选择K‑β放射线并且用于将K‑β放射线反射到样品上(在此K‑β放射线被衍射到能量分辨X射线探测器上)的β放射线多层反射镜结合起来。样品可以具体地处于透射状态。样品可以是毛细管中的粉末样品。 | ||
搜索关键词: | 高分辨率 射线 衍射 方法 装置 | ||
【主权项】:
1.一种X射线衍射装置,包括:X射线源(2),所述X射线源(2)具有原子序数Z小于50的靶(4),用于发射X射线束(6);能量分辨X射线探测器(20);以及样品保持器(14),所述样品保持器(14)用于保持样品(12),使得来自所述X射线源的所述X射线束入射到所述样品上并被衍射到所述X射线探测器上;其中,所述X射线衍射装置还包括K‑β放射线多层反射镜(10),所述K‑β放射线多层反射镜(10)用于从所述X射线源中选择所述K‑β放射线并将所述K‑β放射线反射到所述样品(12)上。
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