[发明专利]一种高精度束流能量分析狭缝装置在审
| 申请号： | 201810191215.4 | 申请日： | 2018-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN108387924A | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | 王忠明;屈二渊;邱孟通;陈伟 | 申请（专利权）人： | 西北核技术研究所 |
| 主分类号： | G01T1/29 | 分类号： | G01T1/29 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 汪海艳 |
| 地址： | 710024 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高精度束流能量分析狭缝装置，该装置主要由一套真空系统、两套驱动机构、两个绝缘块和两个石墨块组成。两套驱动机构分别带动两个石墨块做水平运动，使得两个石墨块在垂直束流方向形成一个束流狭缝，用于限制束流的横向尺寸。石墨块连接信号线，通过测量石墨块上的电流信号可以得到狭缝处的束流损失。能量分析狭缝宽度可调，在束流能量分析系统中，可通过调节两个能量分析狭缝的宽度实现能量的精确选择。本发明结构简单，在实现狭缝宽度精确调节的同时还可以进行束流损失的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 狭缝 石墨块 束流能量 束流 能量分析 驱动机构 束流损失 狭缝装置 两套 连接信号线 测量石墨 电流信号 分析系统 宽度可调 水平运动 真空系统 绝缘块 测量 垂直 分析 | ||
【主权项】：
1.一种高精度束流能量分析狭缝装置，其特征在于：包括真空腔室、位于真空腔室内的左右两块石墨块及位于真空腔室外的两套驱动机构；所述真空腔室的前后端与真空束流管道连通；两套驱动机构均包括电机、传动机构及推进杆，所述推进杆穿过真空腔室分别与左右两块石墨块连接；电机通过各自的传动机构带动推进杆，使得左右两块石墨块沿与电子束流垂直的方向运动；左右两块石墨块上分别连接有信号引出线，两条信号引出线穿过真空腔室引出。
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