[发明专利]超精密直驱气浮静压导轨组件

摘要

本发明涉及超精密直驱气浮静压导轨组件，包括定子导轨部件、动子部件和检测部件；动子部件包括上气浮平台、气浮动子骨架和下气浮导轨平板，它们从上到下依次连接构成“工”字型结构，上气浮平台、气浮动子骨架、下气浮导轨平板与定子导轨部件之间构成充满气体的气膜间隙；气浮动子骨架与定子导轨部件构成电磁感应系统；本发明主要解决传统的直线电机定位精度不高、运动不平稳、安装调试不方便等问题，实现直线电机驱动与气浮静压导轨集成一体化组件，适合于超精密机床、超精密测量等设备的平动运动轴。

主权项

1.超精密直驱气浮静压导轨组件，其特征在于，包括定子导轨部件、动子部件和检测部件；所述定子导轨部件包括支撑基座（1）、两组背铁（4）和两组支撑板（5），所述支撑基座（1）包括一体形成的水平台和水平台的上端面中央的长凸台，所述两组背铁（4）竖直固定在长凸台两侧的水平台上，所述两组背铁（4）之间形成纵向导轨缝隙，在两组背铁（4）相对的侧端面上均设置有永磁体（2）和氧化铝陶瓷（3）；所述两组支撑板（5）分别设置于两组背铁（4）两端的支撑基座（1）上，两组支撑板（5）分别与两组背铁（4）垂直；所述动子部件包括上气浮平台（7）、气浮动子骨架（14）和下气浮导轨平板（15），所述上气浮平台（7）、气浮动子骨架（14）和下气浮导轨平板（15）从上到下依次连接构成“工”字型结构，所述上气浮平台（7）与两组背铁（4）的上端面之间构成充满气体的气膜间隙；所述气浮动子骨架（14）与两组背铁（4）的内侧之间均构成充满气体的气膜间隙；所述下气浮导轨平板（15）与支撑基座（1）的长凸台上端面之间构成充满气体的气膜间隙；所述气浮动子骨架（14）内设置有若干列三相线圈，气浮动子骨架（14）与其两侧的两组背铁（4）小间隙相邻，气浮动子骨架（14）与两组背铁（4）构成电磁感应系统；所述检测部件包括精密标尺光栅（10）和光栅读数头（9），所述标尺光栅（10）设置于一组背铁（4）的外侧端面上部，所述光栅读数头（9）设置于上气浮平台上并与所述标尺光栅（10）相邻感应。