[发明专利]一种基于二级对称式柔性铰链放大机构的压电叠堆微泵

摘要

本发明公开了一种基于二级对称式柔性铰链放大机构的压电叠堆微泵，包括单向出口阀、单向入口阀、阀盖、泵腔、缓冲腔道、弹性球、密封圈、振动薄膜、上平板、放大机构、压电叠堆、压电叠堆电极、支架和下平板；本发明将振动薄膜正下方的上平板加工出缓冲腔道，并在缓冲腔道内置若干橡胶质地的弹性球，使得振动薄膜振动使泵腔容积压缩时可承受更大压力进一步扩大容积，增大时具备更大的缓冲驱动力，减少泵腔体容积大变化量时所需的较大驱动电压的负担；又由于微位移放大机构采用二级对称式柔性铰链机构，因此具有放大机构功率较高，消除纵向耦合误差的优点。

主权项

1.一种基于二级对称式柔性铰链放大机构的压电叠堆微泵，其特征在于：包括单向出口阀（1）、单向入口阀（2）、阀盖（3）、泵腔（4）、密封圈（5）、振动薄膜（6）、上平板（7）、放大机构（8）、压电叠堆（9）、压电叠堆电极（10）、支架（11）和下平板（12）；所述压电叠堆（9）嵌于所述下平板（12）的中心部分，所述压电叠堆（9）上端与所述放大机构（8）下端接触，所述压电叠堆电极（10）通入外接电源；所述支架（11）分别与所述上平板（7）和所述下平板（12）连接，所述支架（11）与所述上平板（7）和所述下平板（12）的中心线在同一轴线上；所述放大机构（8）位于所述支架（11）内部中心处对称分布，并通过底端两角与所述支架（11）销钉连接，所述放大机构（8）与所述压电叠堆（9）的中心线在同一轴线上，所述放大机构（8）顶端与所述振动薄膜（6）相接触；所述振动薄膜（6）位于所述阀盖（3）和所述上平板（7）的衔接处，固定于所述阀盖（3）的卡槽内，所述振动薄膜（6）上端与所述阀盖（3）之间形成所述泵腔（4）；所述振动薄膜（6）正下方的所述上平板（7）加工出缓冲腔道（13），并在所述缓冲腔道（13）内置若干橡胶质地的弹性球（14）；所述阀盖（3）下端内部嵌有所述密封圈（5），所述上平板（7）上的所述阀盖（3）四周均匀分布设有四个螺丝钉，所述阀盖（3）上面设有所述单向出口阀（1）和所述单向入口阀（2），所述单向出口阀（1）和所述单向入口阀（2）对称分布在所述阀盖（3）的中心轴线两侧，采用轮式结构。