[发明专利]低压磁控阴极离子源在审
| 申请号： | 201810196429.0 | 申请日： | 2018-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN108231529A | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 张浙军;陈刚;裴宏伟 | 申请（专利权）人： | 威海蓝膜光热科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/14 | 分类号： | H01J49/14;H01J49/10;C23C14/02 |
| 代理公司： | 青岛清泰联信知识产权代理有限公司 37256 | 代理人： | 张媛媛 |
| 地址： | 264204 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 低压磁控阴极离子源，包括真空组件、间隔设置的阴极组件和阳极组件，真空组件包括支撑盖，支撑盖上设置有工艺气体的气体接口和电场组件；阴极组件包括离子激发腔；支撑盖和离子激发腔的腔体连接，且支撑盖和离子激发腔之间形成一真空腔；离子激发腔设置有用以向腔内通入工艺气体的气体接口、阴极磁铁、与阴极磁铁间隔设置的阴极靶材、阴极接线端子，阴极接线端子与负极接线端子连接；阳极组件包括阳极腔体和设置在阳极腔体内的阳极磁铁，阳极接线端子，阳极接线端子与正极接线端子连接；离子激发腔朝向阳极组件。本发明为一种低压强工作阴极离子源，该离子源利用电场与磁场聚焦压缩原理，电场为主，磁场为辅，可提高镀膜离化率，改进镀膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 离子激发 支撑盖 阳极组件 阳极接线端子 阴极接线端子 阴极离子源 电场 低压磁控 工艺气体 间隔设置 气体接口 阴极磁铁 阴极组件 真空组件 离子源 镀膜 磁场 负极接线端子 正极接线端子 阳极 电场组件 工作阴极 阳极腔体 阴极靶材 低压强 阳极腔 真空腔 磁铁 离化 腔内 腔体 聚焦 体内 压缩 改进 | ||
【主权项】：
1.低压磁控阴极离子源，其特征在于：包括真空组件和间隔设置的阴极组件和阳极组件，所述真空组件包括支撑盖，所述支撑盖上设置有工艺气体的气体接口和电场组件，电场组件包括正极接线端子和负极接线端子；所述阴极组件包括离子激发腔；支撑盖和离子激发腔的腔体连接，且支撑盖和离子激发腔之间形成一真空腔；所述离子激发腔设置有用以向腔内通入工艺气体的气体接口、阴极磁铁、与阴极磁铁间隔设置的阴极靶材、以及用以为离子激发腔引入电场的阴极接线端子，阴极接线端子与负极接线端子连接；所述阳极组件包括阳极腔体和设置在阳极腔体内的阳极磁铁，以及为阳极组件引入电场的阳极接线端子，所述阳极接线端子与正极接线端子连接；离子激发腔朝向阳极组件。
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