[发明专利]一种用于单晶一体机加工过程的全自动硅水循环过滤装置

摘要

本发明涉及单晶硅一体加工设备的辅助设备，旨在提供一种用于单晶一体机加工过程的全自动硅水循环过滤装置。单晶一体机的硅水切削液排放口与第一水箱、第一抽水泵、过滤器、第二抽水泵、第二水箱、第三抽水泵、单晶一体机的硅水切削液导入口构成循环回路；在第三抽水泵出口端设流量计，流量计通过信号线接至电控箱；电控箱通过电缆分别连接另两个抽水泵，并根据第三抽水泵出口端的流量同步控制另两个抽水泵的运行功率，使循环过滤过程中单晶一体机的导入口和排放口的硅水切削液流量保持一致。本发明循环利用硅水切削液，有效减少了新鲜硅水切削液的使用量，避免环境污染。便捷式的车载设计能在需要时自由移动，大大提高了生产效率。

主权项

1.一种用于单晶一体机加工过程的全自动硅水循环过滤装置，包括过滤器；其特征在于，该装置还包括两个水箱与三个抽水泵；其中，第一水箱通过管路与单晶一体机的硅水切削液排放口相接，其底部经第一抽水泵连接至过滤器的入口端；过滤器的出口端与第二抽水泵的入口端相接，第二抽水泵的出口端接至第二水箱；第三抽水泵的入口端接至第二水箱底部，其出口端通过管路与单晶一体机的硅水切削液导入口相接；在第三抽水泵出口端的管线上设置流量计，流量计通过信号线接至电控箱；电控箱通过电缆分别连接至第一抽水泵和第二抽水泵，并根据第三抽水泵出口端的流量同步控制另两个抽水泵的运行功率，使循环过滤过程中单晶一体机的导入口和排放口的硅水切削液流量保持一致。