[发明专利]纳米压痕/刻划测试装置在审
| 申请号： | 201810197687.0 | 申请日： | 2018-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN108507891A | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 孙义质 | 申请（专利权）人： | 宁波高新区天都科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N3/42 | 分类号： | G01N3/42;G01N3/46 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 315040 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种纳米压痕/刻划测试装置，属于机电一体化精密科学仪器领域。其结构包括X、Y精密定位平台、Z轴宏动调整机构、精密压入驱动单元、载荷信号检测单元和位移信号检测单元，其中，所述的X、Y精密定位平台通过连接板Ⅰ 2与粗调整机构Ⅲ 15相连，该调整机构Ⅲ 15固定在底座1上，载物台8通过力传感器9与X、Y精密定位平台连接；精密压入驱动单元通过Z轴宏动调整机构固定在侧板Ⅰ 3上，该侧板Ⅰ 3固定在底座1上；位移信号检测单元通过其侧板Ⅱ 14固定在底座1上。技术效果是：结构紧凑、体积小。可以实现特征尺寸毫米级以上三维试件的力学性能测试（最大尺寸达到20mm×20mm×10mm）；位移加载分辨率达到纳米级、加载力分辨率达到微牛级。 | ||
| 搜索关键词： | 侧板 底座 精密压入驱动单元 宏动调整机构 位移信号检测 刻划测试 纳米压痕 分辨率 精密科学仪器 力学性能测试 载荷信号检测 粗调整机构 机电一体化 调整机构 技术效果 力传感器 毫米级 加载力 连接板 纳米级 体积小 载物台 加载 试件 微牛 三维 | ||
【主权项】：
1. 一种纳米压痕/ 刻划测试装置，其特征在于：包括X、Y 精密定位平台、Z 轴宏动调整机构、精密压入驱动单元、载荷信号检测单元和位移信号检测单元，其中，所述的X、Y 精密定位平台通过连接板Ⅰ（2）与粗调整机构Ⅲ（15）相连，该调整机构Ⅲ（15）固定在底座（1）上，载物台（8）通过力传感器（9）与X、Y 精密定位平台连接；精密压入驱动单元通过Z 轴宏动调整机构固定在侧板Ⅰ（3）上，该侧板Ⅰ（3）固定在底座（1）上；位移信号检测单元通过其侧板Ⅱ（14）固定在底座（1）上。
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