[发明专利]一种分层电沉积后硒化退火制备铜铟铝硒太阳能电池薄膜材料的方法有效
| 申请号： | 201810198125.8 | 申请日： | 2018-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN108538934B | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | 杨穗;时亚广;易捷;田心怡;钟建新 | 申请（专利权）人： | 湘潭大学 |
| 主分类号： | H01L31/032 | 分类号： | H01L31/032;C25D5/10;C25D5/48 |
| 代理公司： | 43108 湘潭市汇智专利事务所(普通合伙) | 代理人： | 冷玉萍 |
| 地址： | 411105 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种分层电沉积后硒化退火制备铜铟铝硒太阳能电池薄膜材料的方法。为克服水溶液中电沉积铝导致的析氢现象，本发明先采用熔融盐电沉积法沉积铝薄膜，然后将铜金属盐溶解于去离子水，在镀铝的薄膜上电沉积铜，再将铟金属盐溶解于去离子水，在镀铝/铜的薄膜上电沉积铟，再将前驱体薄膜硒化退火获得铜铟铝硒薄膜。通过分层控制各层薄膜的沉积电流密度和时间实现了对薄膜成分、晶体结构、形貌等的可控制备。与一步水溶液中电沉积方法比较，本发明所制备的薄膜纯度高，没有Cu | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 沉积 制备 硒化退火 太阳能电池薄膜材料 水溶液中电沉积 去离子水 铜铟铝硒 电沉积 镀铝 分层 上电 形貌 铜铟铝硒薄膜 原材料利用率 高质量薄膜 金属盐溶解 前驱体薄膜 电沉积法 分层控制 晶体结构 可重复性 析氢现象 制备工艺 二元相 高真空 可控性 可控制 铝薄膜 熔融盐 铜金属 溶解 | ||
【主权项】：
1.一种分层电沉积后硒化退火制备铜铟铝硒太阳能电池薄膜材料的方法，其特征在于，包括如下步骤：/n(1) 将NaCl与KCl置于马弗炉中350~500℃干燥4~6 h后， 再与AlCl
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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