[发明专利]基板传送系统在审
| 申请号： | 201810201634.1 | 申请日： | 2018-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN108423433A | 公开（公告）日： | 2018-08-21 |
| 发明（设计）人： | 吴凡;王洪亚 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基板传送系统，通过导向装置支撑基板，通过传送装置传送所述基板，从而能够实现对于所述基板的传送；进一步的，所述导向装置和所述基板之间存在间隙，由此在所述基板传送的过程中，能够极大的降低、甚至避免所述导向装置和所述基板之间的摩擦；更进一步的，所述传送装置通过吸附的方式固定所述基板，从而也能够避免所述传送装置和所述基板之间的摩擦，由此能够使得整个基板的传送过程中摩擦极小、甚至无摩擦，从而也极大的降低、甚至避免了基板传送过程中颗粒的产生，提高了基板传送的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 基板 传送装置 导向装置 基板传送 基板传送系统 摩擦 传送 传送过程 支撑基板 无摩擦 中颗粒 吸附 | ||
【主权项】：
1.一种基板传送系统，所述基板传送系统用于传送一基板，其特征在于，所述基板传送系统包括：导向装置，所述导向装置用于支撑所述基板且所述导向装置与所述基板之间存在间隙；传送装置，所述传送装置用于传送所述基板，所述传送装置通过吸附的方式固定所述基板并进行传送。
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