[发明专利]开式多级气膜密封的气浮物理仿真平台的非接触供气装置

摘要

本发明公开了一种开式多级气膜密封的气浮物理仿真平台的非接触供气装置，在气浮物理仿真平台的平动平台中心设置由导气块、导气孔和大面积浅腔组成的导气单元，在基础平台设置由导气块和导气孔组成的导气单元，在对气浮式物理仿真平台供气过程中，利用导气块上大面积浅腔外侧的多级倒梯形截面窄环带与供气块之间的超薄间隙实现非接触气膜密封；本发明既实现了通过导气块上的大面积浅腔对气浮物理仿真平台提供连续不断的外部气体供气，同时通过多级窄环带结构显著降低了附加承载力的影响，具有实验时间长以及模拟环境干扰力矩小等优点。

主权项

1.开式多级气膜密封的气浮物理仿真平台的非接触供气装置，包括旋转平台(1)、仪表平台(3)、平动平台(6)、支撑立柱(4)、基础平台(10)、气浮球碗(11)、气浮球轴承(12)和平面止推气浮轴承(7)，其特征在于：仪表平台(3)通过支撑筒(2)固定安装在旋转平台(1)下方，所述气浮球轴承(12)固定安装在所述旋转平台(1)的下底面，所述气浮球碗(11)固定安装在所述支撑立柱(4)的上端，所述气浮球轴承(12)和气浮球碗(11)构成气浮球轴承组件，用于实现旋转平台(1)和仪表平台(3)的Rx、Ry和Rz向旋转；所述支撑立柱(4)中心设置有通气孔以及与通气孔相连的侧向通气管路(5)，所述支撑立柱(4)下端与所述平动平台(6)固定连接，所述平动平台(6)下底面均匀分布有若干平面止推气浮轴承(7)，实现气浮式物理仿真平台的X和Y向平面非接触运动，在平动平台(6)下底面的中心处安装有一由导气块(9a)、导气孔(9b)和大面积浅腔(9c)组成的导气单元(9)，所述导气孔(9b)与支撑立柱(4)中心的通气孔连通，借助支撑立柱(4)中心的通气孔沿支撑立柱(4)+z方向对气浮球轴承组件供气，所述侧向通气管路(5)与平面止推气浮轴承(7)相连，用于为平面止推气浮轴承(7)供气；所述基础平台(10)下底面安装有一供气单元(8)，位于导气单元(9)的-z方向对应设置，所述供气单元(8)由供气块(8a)和供气孔(8b)组成，在导气块(8a)的中心设置供气孔(8b)，在气浮式物理仿真平台在运动时，供气孔(8b)始终位于大面积浅腔(9c)内，所述大面积浅腔(9c)外侧设置多级窄环带，多级窄环带外侧与供气块(8a)精加工面之间设有微米量级间隙，在对气浮物理仿真平台供气过程中，通过导气块(9a)的多级窄环带与供气块(8a)之间的微米量级间隙进行非接触气膜密封。/n