[发明专利]一种基于光介电泳的石墨烯批量化装配方法有效
| 申请号： | 201810202445.6 | 申请日： | 2018-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN108298496B | 公开（公告）日： | 2023-06-13 |
| 发明（设计）人： | 张嵛;杨勇;耿庆田;朱金龙;张志勇;刘娜;于繁华;刘光洁 | 申请（专利权）人： | 长春师范大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/00 |
| 代理公司： | 重庆三航专利代理事务所(特殊普通合伙) 50307 | 代理人： | 万文会 |
| 地址： | 130032 吉林*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及石墨烯批量化装配技术，具体是一种基于光介电泳的石墨烯快速、自动化、大规模装配方法，主要用于石墨烯器件加工制造领域。本发明结合光介电泳与微流控技术，通过微泵利用AgNO3溶液在光介电泳引导下，发生氧化还原反应从而生成Ag的原理，在石墨烯上持续自动化构造Ag电极，从而实现石墨烯批量化装配。本发明能低成本快速、可控、自动化地实现石墨烯批量化装配，对石墨烯器件制造具有重要的实用意义。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 电泳 石墨 批量 化装 配方 | ||
【主权项】：
1.一种基于光介电泳的石墨烯批量化装配方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）制作新型ODEP芯片：将CVD生长的石墨烯转移到ODEP芯片上，并将ITO玻璃与ODEP芯片封装起来；（2）芯片连接：分别在ITO玻璃与ODEP芯片上引出导线与信号发生器进行连接发出交流信号给芯片通电；在进液口与出液口处引出塑料管道，通过控制微泵利用注射器持续将溶液从进液口注入；（3）批量化电极制造：首先判断石墨烯位置（石墨烯为透明），然后在显现的石墨烯边缘构造光电极，在设定时间内生成电极，实现与石墨烯的电连接。
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