[发明专利]一种铜锌锡硫薄膜的制备方法

摘要

本发明涉及一种铜锌锡硫薄膜的制备方法，属于功能薄膜材料技术领域。本发明按铜源、锌源、锡源、硫源的摩尔比为(1~2):(1~2):(1~2):(4~10)加入到有机溶剂中，经过搅拌、超声处理得到前驱体溶液；超声清洗并真空干燥FTO导电玻璃或硅片；在FTO导电玻璃或硅片上旋涂前驱体溶液并在温度为60~90℃条件下真空干燥6~10 h，然后重复旋涂3~6次前驱体溶液并真空干燥得到CZTS膜前体；将CZTS膜前体进行退火处理；将退火处理的CZTS膜进行微波优化处理即得CZTS薄膜。本发明方法具有工艺简单、反应装置简单、反应速度快、成本低、成膜质量好等特点。

主权项

1.一种铜锌锡硫薄膜的制备方法，其特征在于，具体步骤如下：（1）按铜源、锌源、锡源、硫源的摩尔比为(1~2):(1~2):(1~2):(4~10)加入到有机溶剂中，经过搅拌、超声处理得到前驱体溶液；（2）超声清洗并真空干燥FTO导电玻璃或硅片；（3）在步骤（2）的FTO导电玻璃或硅片上旋涂步骤（1）的前驱体溶液并在温度为60~90℃条件下真空干燥6~10 h，然后重复旋涂3~6次步骤（1）的前驱体溶液并真空干燥得到CZTS膜前体；（4）将步骤（3）所得CZTS膜前体进行退火处理；（5）将步骤（4）所得退火处理的CZTS膜进行微波优化处理即得CZTS薄膜。