[发明专利]激光重复蚀刻去重实时自动调节焦点位置的装置与方法在审
| 申请号： | 201810203747.5 | 申请日： | 2018-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN108480840A | 公开（公告）日： | 2018-09-04 |
| 发明（设计）人： | 王仁亮;黄岳爱 | 申请（专利权）人： | 广州市艾派克智能激光科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/046 | 分类号： | B23K26/046;B23K26/362 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 510000 广东省广州市白云区北太路1*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种激光重复蚀刻去重实时自动调节焦点位置的装置与方法，装置包括有设备主机、激光器、激光测距传感器、伺服电机和Z轴升降机构，激光测距传感器与激光器并列安装，且激光测距传感器与工件去重位置的距离和激光器与工件去重位置的距离相等。本发明通过设置激光测距传感器查找到焦点位置的距离A，当激光传感器感应到去重位置与激光测距传感的距离B不等于焦点位置的距离A时，系统控制Z轴升降机构自动上下移动激光器，使蚀刻激光束的焦点位置距离A等于去重位置与激光测距传感的距离B，使工件表面去除位置蚀刻点随着重复蚀刻的不断挖深时，能始终保持激光聚焦光束的焦点落在工件去重位置上，从而实现高精度的蚀刻去重。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 去重位置 激光测距传感器 激光器 焦点位置 自动调节焦点 激光测距 传感 重复 激光 激光传感器 并列安装 工件表面 激光聚焦 距离相等 上下移动 设备主机 伺服电机 系统控制 激光束 去重 去除 焦点 | ||
【主权项】：
1.激光重复蚀刻去重实时自动调节焦点位置的装置，包括有设备主机、用于激光去重蚀刻的激光器、伺服电机和Z轴升降机构，激光器安装在Z轴升降机构上，Z轴升降机构安装在设备主机的支架上并与伺服电机连接形成上下升降结构，伺服电机亦安装于设备主机的支架上；设备主机中具有激光控制系统和供电系统，激光器连接设备主机，其特征在于：还包括有激光测距传感器，激光测距传感器与激光器并列安装，两者一起悬于设备主机的工作台上方，激光测距传感器连接激光控制系统；工件放置于工作台上，激光测距传感器与工件去重位置的距离和激光器与工件去重位置的距离相等。
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