[发明专利]一种金刚石厚膜切削齿的制备方法在审
| 申请号： | 201810204462.3 | 申请日： | 2018-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN108559971A | 公开（公告）日： | 2018-09-21 |
| 发明（设计）人： | 简小刚;王俊鹏;何嘉诚 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | C23C16/27 | 分类号： | C23C16/27;C23C16/02 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 赵志远 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种金刚石厚膜切削齿的制备方法，包括以下步骤：1)将打磨后的硅衬底置于金刚石微粉悬浮液中，并进行超声处理；2)对超声处理后的硅衬底进行刻蚀；3)采用化学沉积法在硅衬底表面沉积一层金刚石厚膜，之后快速冷却；4)将金刚石厚膜从硅衬底上剥离；5)将金刚石厚膜钎焊在切削齿上。与现有技术相比，本发明利用硅衬底与金刚石厚膜之间热膨胀系数的差异，控制工艺参数使得两者的热应力较大、结合力较弱，再通过手动或借助简单工具将金刚石厚膜剥离，以便焊接到切削齿上，得到表面焊接有金刚石厚膜的切削齿，相比于PDC钻头其耐磨性和使用寿命都得到了较大提高。 | ||
| 搜索关键词： | 金刚石厚膜 切削齿 硅衬底 超声处理 制备 剥离 控制工艺参数 硅衬底表面 化学沉积法 金刚石微粉 热膨胀系数 表面焊接 简单工具 快速冷却 使用寿命 耐磨性 结合力 热应力 悬浮液 沉积 刻蚀 钎焊 打磨 | ||
【主权项】：
1.一种金刚石厚膜的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：1)将打磨后的硅衬底置于金刚石微粉悬浮液中，并进行超声处理；2)对超声处理后的硅衬底进行刻蚀；3)采用化学沉积法在硅衬底表面沉积一层金刚石厚膜，之后快速冷却；4)将金刚石厚膜从硅衬底上剥离。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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