[发明专利]一种获得均匀组织和织构的溅射靶材用钽板轧制方法有效
| 申请号： | 201810205349.7 | 申请日： | 2018-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN108465700B | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 刘施峰;林男;柳亚辉;刘庆;姚力军;王学泽 | 申请（专利权）人： | 重庆大学 |
| 主分类号： | B21B1/38 | 分类号： | B21B1/38;C23C14/34;C22F1/18 |
| 代理公司： | 重庆为信知识产权代理事务所(普通合伙) 50216 | 代理人： | 姚坤 |
| 地址： | 400044 重*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开一种获得均匀组织和织构的溅射靶材用钽板轧制方法，按以下步骤进行：对钽板采用多道次异步轧制，每道次完成后，将钽板相对于其进给方向水平旋转90°，并将钽板的两个轧制面互换，整个轧制过程中钽板的水平旋转方向一致。通过异步轧制，结合每道次旋转90°，且每道次互换轧制面的方式对钽板进行塑性变形，制备出的高纯钽溅射靶材的组织、织构分布更为均匀，维氏硬度较高且平均，结合退火处理将得到均匀分布的晶粒，这样的钽板可应用于电子器件、半导体等溅射膜领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 获得 均匀 组织 溅射 靶材用钽板 轧制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种获得均匀组织和织构的溅射靶材用钽板轧制方法，其特征在于按以下步骤进行：对钽板靶材采用多道次异步轧制，每道次完成后，将钽板靶坯相对于其进给方向水平旋转90°，并将钽板靶坯的两个轧制面互换，整个轧制过程中钽板靶坯的水平旋转方向一致。
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