[发明专利]基板保持装置以及腔室装置

摘要

本发明涉及基板保持装置以及腔室装置，其中，所述基板保持装置包括：保持部，由磁性体构成；电永磁，根据是否施加电源，改变磁场流动更强的位置；以及夹盘，设置有所述电永磁；其中，所述保持部利用根据对所述电永磁未施加电源而产生作用的引力支撑所述基板，以使基板保持在所述夹盘。

主权项

1.一种基板保持装置，其特征在于，包括：基座，由磁性体构成；夹盘，由非磁性体构成；第一极片，配置在所述基座与所述夹盘的一面之间，并且由磁性体构成；第二极片，在从所述第一极片分隔的位置中配置在所述基座与所述夹盘的一面之间，并且由磁性体构成；永久磁铁，设置在所述第一极片与所述第二极片之间，以分别接触于所述第一极片与所述第二极片；线圈，设置在所述第一极片；保持部，由磁性体构成；以及诱导部，设置在所述基座；其中，对于所述诱导部由非磁性体构成，若对所述线圈施加电源，则所述基座侧形成比所述保持部测更强的磁场流动；若对所述线圈未施加电源，则所述保持部侧形成比所述基座侧更强的磁场流动，以对所述保持部产生引力作用；所述保持部利用根据对所述线圈未施加电源而产生作用的引力支撑所述基板，以使基板保持在所述夹盘。