[发明专利]液体喷出装置

摘要

本发明提供一种能够实现与光学检测机构同等程度的异物检测的高精度化或者设备调节的简单化的异物检测方法。在随着介质和液体喷出部的相对移动而能够与液体喷出部接触的对象物的存在的检测中，使用通过与对象物的接触而引起形变位移的板状的检测板部，并且在该检测板部中具备输出与检测板部的形变位移相对应的电信号的压电薄膜传感器。压电薄膜传感器具有检测薄膜部和输出电路部，其中，在所述检测薄膜部中排列有引起与形变位移相对应的电压变化的压电元件，所述输出电路部将检测薄膜部的电压变化转换为电信号并输出，输出电路部被设置在检测板部中的、与介质面对面的第一板面的背面侧的第二板面上。

主权项

1.一种液体喷出装置，具备：液体喷出部，其以与介质面对面的方式被配置并向所述介质喷出液体；检测板部，其呈板状，且通过与随着所述介质和所述液体喷出部的相对移动而能够与所述液体喷出部接触的对象物的接触而引起形变位移；压电薄膜传感器，其被设置在该检测板部上，并输出与所述检测板部的所述形变位移相对应的电信号，该压电薄膜传感器具有检测薄膜部和输出电路部，其中，在所述检测薄膜部中排列有引起与所述形变位移相对应的电压变化的压电元件，所述输出电路部将该检测薄膜部的所述电压变化转换为所述电信号并输出，该输出电路部被设置在所述检测板部中的、与所述介质面对面的第一板面的背面侧的第二板面上。