[发明专利]可调谐窄线宽半导体激光器在审
| 申请号： | 201810209946.7 | 申请日： | 2018-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN108448379A | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 陈明华;李渔 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H01S5/10 | 分类号： | H01S5/10;H01S5/12 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹;吴欢燕 |
| 地址： | 100084 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种可调谐窄线宽半导体激光器，包括：法布里‑珀罗半导体激光器和光子集成外腔，所述光子集成外腔包括光斑耦合器、相位调谐单元、分束器、可调谐微环反射镜和合束器。通过将F‑P半导体激光器与光子集成外腔进行直接耦合，可实现将相位调谐和波长调谐等功能的光器件集成在一片基片上，大大减小了可调谐窄线宽半导体激光器的体积，从而实现可调谐窄线宽半导体激光器的小型化和集成化。同时，通过调节光子集成外腔内各光器件的相关参数，不仅可以使得可调谐窄线宽半导体激光器具有小于10kHz的窄线宽特性，还可以使可调谐窄线宽半导体激光器具有超过10nm的调谐范围，大大提高了可调谐窄线宽半导体激光器的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体激光器 可调谐 窄线宽 光子集成 外腔 相位调谐 调谐 光器件集成 波长调谐 相关参数 直接耦合 光斑 法布里 反射镜 分束器 光器件 集成化 耦合器 减小 微环 | ||
【主权项】：
1.一种可调谐窄线宽半导体激光器，其特征在于，包括：法布里‑珀罗半导体激光器和光子集成外腔，所述光子集成外腔包括光斑耦合器、相位调谐单元、分束器、可调谐微环反射镜和合束器；所述光斑耦合器用于将所述法布里‑珀罗半导体激光器输出的第一激光耦合进入所述相位调谐单元；所述相位调谐单元用于调谐所述第一激光的相位；所述分束器用于将相位调谐后的第一激光进行分束；所述可调谐微环反射镜用于使分束后的激光中预设波长的激光在所述光子集成外腔和所述法布里‑珀罗半导体激光器之间进行多次往返传输；所述合束器用于将所述可调谐微环反射镜输出的激光进行合束，得到用于输出的第二激光。
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