[发明专利]探针卡自动清针方法及其系统在审
| 申请号： | 201810210863.X | 申请日： | 2018-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN110275049A | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 李茂衫;吴松霖;吴振文 | 申请（专利权）人： | 均豪精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 孙皓晨 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种探针卡自动清针方法，其步骤包括：按压清洁模块，至少一探针卡的探针按压一清洁模块，以去除该探针的沾黏物；以及负压吸附沾黏物，提供一负压给该清洁模块，以使该负压吸附该沾黏物。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁模块 探针卡 按压 负压吸附 清针 探针 负压 去除 | ||
【主权项】：
1.一种探针卡自动清针方法，其步骤包括：按压清洁模块，至少一探针卡的探针按压一清洁模块，以去除该探针的沾黏物；以及负压吸附沾黏物，提供一负压给该清洁模块，以使该负压吸附该沾黏物。
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