[发明专利]一种高温磁悬浮轴承轴向用电涡流位移传感器

摘要

本发明公开了一种高温磁悬浮轴承轴向用电涡流位移传感器，属于电涡流位移传感器领域，该传感器主要由工作探头、辅助探头、信号处理电路、温度补偿电路四部分构成。主探头与辅助探头主要由高温漆包线、陶瓷线圈骨架、高温胶、高温同轴电缆组成；信号处理电路主要是由振荡电路、检波电路、标定电路组成；温度补偿电路主要由温漂补偿电路和时漂补偿电路组成，其中温漂补偿电路主要由Pt100三线制温度采集电路、信号调理电路和除法器构成，时漂补偿电路主要由Pt100三线制温度采集电路、两探头差动电路组成。未补偿的信号先经过减法器消除温漂的偏置电压温漂误差，再经过除法电路消除灵敏度温漂误差。本发明传感器主要在高温磁悬浮轴承轴向中应用。

主权项

1.一种高温磁悬浮轴承轴向用电涡流位移传感器，其特征在于：主要由工作探头、辅助探头、信号处理电路和温度补偿电路四部分构成，工作探头和辅助探头主要是由高温漆包线线圈、高温胶和陶瓷线圈骨架组成，高温漆包线绕陶瓷线圈骨架绕线，绕成目标电感值，后经高温胶包裹，防止高温环境下线圈脆化造成短路；信号处理电路主要是由振荡电路、检波电路、调理电路组成，信号处理电路中振荡电路负责载波信号的产生，选用LC振荡网络，电感L负责能量振荡的同时负责携带调制信号，调制信号包含在载波信号的峰值信号内；检波电路负责获取振荡电路产生的载波信号的峰值信号，由二极管和电容组成，调理电路由匹配电阻与运放器电路组成，可以实现测量信号线性度的任意调理；温度补偿电路主要由温漂补偿电路和时漂补偿电路组成，其中温漂补偿电路主要由灵敏度补偿电路和偏置电压补偿电路，灵敏度补偿电路包括Pt100热敏电阻三线制电路、除法器：首先通过Pt100电阻的三线制采集温度信号，信号经过调理后获得目标线性度，再经过除法器的作用消除测量信号中灵敏度携带的温度漂移误差；偏置电压补偿电路主要由Pt100热敏电阻三线制电路、减法电路组成：首先通过Pt100电阻的三线制采集温度信号，信号经过调理后获得目标线性度，再经过减法电路的作用消除测量信号中偏置电压携带的温度漂移误差；时漂补偿电路主要由工作探头输出信号与辅助探头输出信号差动构成，工作探头主要负责测量位移信号，辅助探头主要负责感应温度时间上的温度差变化‑时漂现象，辅助探头获取时漂误差后，经过差动处理后实现对时漂误差的消除。