[发明专利]一种超高真空样品截断装置有效
申请号: | 201810213719.1 | 申请日: | 2018-03-15 |
公开(公告)号: | CN108181487B | 公开(公告)日: | 2020-03-06 |
发明(设计)人: | 刘灿华;陈传廷;贾金锋 | 申请(专利权)人: | 上海交通大学 |
主分类号: | G01Q30/20 | 分类号: | G01Q30/20 |
代理公司: | 上海旭诚知识产权代理有限公司 31220 | 代理人: | 郑立 |
地址: | 200240 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种超高真空样品截断装置,涉及真空材料截断技术领域,包括样品固定装置和样品截断装置;样品固定装置包括样品架、样品台、内插片、支撑座、双面法兰盘和校准座;样品截断装置包括微分头负载型直线导入器、推杆、前端推头和固定帽;样品架包括第一夹块、第二夹块和底板;样品台包括样品台主体、挡块和压片;样品台设置有一凹槽以容纳样品架,支撑座连同样品台一起固定在双面法兰盘的一面,在双面法兰盘的另一面设置有ICF70法兰接口来连接微分头负载型直线导入器。该装置能够在超高真空环境中进行截断操作,使样品不被污染,不仅保证样品能成功被截断,而且样品截断面的平整度足够高,截断效果好。 | ||
搜索关键词: | 一种 超高 真空 样品 截断 装置 | ||
【主权项】:
1.一种超高真空样品截断装置,其特征在于,包括样品固定装置和样品截断装置;所述样品固定装置包括样品架、样品台、内插片、支撑座、双面法兰盘和校准座;所述样品截断装置包括微分头负载型直线导入器、推杆、前端推头和固定帽;所述样品架包括第一夹块、第二夹块和底板;所述样品台包括样品台主体、2个挡块和1个压片;所述内插片的厚度为1mm;所述样品台设置有一凹槽以容纳所述样品架,所述支撑座支撑所述样品台,所述支撑座连同所述样品台一起固定在所述双面法兰盘的一面,而在所述双面法兰盘的另一面设置有ICF70法兰接口,所述微分头负载型直线导入器通过所述ICF70法兰接口固连在所述双面法兰盘上。
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