[发明专利]一种耐高温的多层压电陶瓷致动器及其制备方法和用途在审

专利信息
申请号: 201810214058.4 申请日: 2018-03-15
公开(公告)号: CN108470824A 公开(公告)日: 2018-08-31
发明(设计)人: 陈朗;张伟飞;袁国亮 申请(专利权)人: 南方科技大学
主分类号: H01L41/083 分类号: H01L41/083;H01L41/09;H01L41/18;H01L41/187;H01L41/27;H01L41/37;H01L41/43
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 巩克栋
地址: 518000 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种耐高温的多层压电陶瓷致动器及其制备方法和用途。所述压电陶瓷致动器中的压电陶瓷层包括压电陶瓷材料和助烧剂,所述压电陶瓷材料为通式为xBiScO3‑(1‑x)PbTiO3的钪酸铋‑钛酸铅二元压电陶瓷材料。所述制备方法包括:1)将铋源、钪源、铅源和钛源混合,破碎,得到原料混合物,煅烧,得到煅烧粉料;2)将助烧剂与煅烧粉料混合,破碎,将得到的混合物成型得到压电陶瓷膜片;3)在压电陶瓷膜片表面制备内电极,将得到的带有内电极的压电陶瓷膜片层叠、烧制、制备外电极并进行极化后,得到所述压电陶瓷致动器。所述压电陶瓷致动器适用于25℃至300℃的工作温度范围,并且成本较低。
搜索关键词: 制备 压电陶瓷致动器 压电陶瓷材料 压电陶瓷膜片 煅烧 多层压电陶瓷 耐高温 内电极 致动器 助烧剂 破碎 压电陶瓷层 原料混合物 表面制备 粉料混合 混合物 外电极 钛酸铅 钪酸铋 极化 粉料 铅源 钛源 铋源 烧制 成型
【主权项】:
1.一种压电陶瓷致动器,其特征在于,所述压电陶瓷致动器中的压电陶瓷层(1)包括压电陶瓷材料和助烧剂,所述压电陶瓷材料为通式为xBiScO3‑(1‑x)PbTiO3的钪酸铋‑钛酸铅二元压电陶瓷材料,其中x和(1‑x)均代表摩尔比例,且0.3≤x≤0.4。
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