[发明专利]基于大数据分析的智能环抛交叉修复调拨系统

摘要

本发明公开了一种基于大数据分析的环抛智能交叉修复调拨系统，其结构示意图如下所示，包括面形数据获取模块、交叉修复匹配分析模块、智能存取调拨模块；面形数据获取模块包括静置恒温单元和面形检测单元，通过数字化干涉仪来获取元件全口径反射面形、透射面形及材料非均匀性分布等数据；交叉修复匹配分析模块包括数据分类单元、指标提取单元、数据分析单元、分析结果驱动单元，功能是对获取的面形数据进行处理、分析、判断，最终形成最佳交叉修复匹配方案；智能交叉修复调拨模块包括元件存储单元和自动传输单元，根据交叉修复匹配方案对元件进行自动存取调拨。本发明的智能交叉修复调拨系统应用在多工位环抛机群批量加工过程中，利用多样化的第一面面形分布和多样化的抛光模面形变化特性，基于大数据分析进行匹配决策，整个过程智能控制，有效提升交叉修复命中率和面形控制效率，具有很强的实用性。

主权项

1.一种基于大数据分析的环抛智能交叉修复调拨系统，其特征在于，包括面形数据获取模块、交叉修复匹配分析模块、智能存取调拨模块；所述的面形数据获取模块是通过激光平面干涉仪来获取元件加工后的面形数据；所述的交叉修复匹配分析模块包括数据分类单元、指标提取单元、数据分析单元及分析结果驱动单元；所述的数据分类单元是根据面形数据的文件名对获取的面形数据进行分类，形成分类数据库，所述的指标提取单元是从面形数据中提取峰谷值PV、离焦P、像散A和剩余峰谷值PVr指标，并存放在相应的分类数据库中，形成面形指标库，所述的数据分析单元通过面形指标判断元件是否合格，并对不合格的元件进行面形数据分析，生成交叉修复匹配方案，所述的分析结果驱动单元是利用计算机把交叉修复匹配方案转化为可执行的指令，通过以太网传送至所述的智能存取调拨模块，并驱动所述的智能存取调拨模块完成元件在加工、检测、存储各设备之间的自动调拨。