[发明专利]一种改善多晶硅片出绒率的制绒方法在审

专利信息
申请号: 201810215386.6 申请日: 2018-03-15
公开(公告)号: CN108505121A 公开(公告)日: 2018-09-07
发明(设计)人: 郭卫保;陈志运;田小江;李晴;张华 申请(专利权)人: 张家港国龙光伏科技有限公司
主分类号: C30B33/10 分类号: C30B33/10;H01L31/18
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种改善多晶硅片出绒率的制绒方法,具体包括如下步骤:1)碱制绒:将原始金刚线切割多晶硅片放入加有时创添加剂的氢氧化钠碱溶液中进行碱抛;碱溶液中氢氧化钠的质量分数为0.8‑1.2%,时创添加剂的质量分数为0.9‑1.1%,余量为水,硅片在58‑62℃下碱抛5‑7min;2)酸制绒:待步骤1)结束后,将硅片放入加有合德丰添加剂的氢氟酸和硝酸的混合溶液中,进行酸制绒后,产生制绒后的金刚线切割多晶硅片;酸溶液中氢氟酸的质量分数为17‑19%,硝酸的质量分数为58‑62%,合德丰添加剂的质量分数为0.5‑0.7%,硅片在9‑12℃下酸制绒175‑185S。本发明将同向腐蚀的酸制绒技术和异向腐蚀的碱制绒技术相结合,达到较高的出绒率和较低的反射率,进而提升电池片的光电转换效率。
搜索关键词: 质量分数 多晶硅片 酸制绒 添加剂 出绒率 硅片 制绒 碱制绒 氢氟酸 线切割 硝酸 放入 氢氧化钠碱溶液 腐蚀 光电转换效率 混合溶液中 氢氧化钠 电池片 反射率 碱溶液 酸溶液 同向 异向
【主权项】:
1.一种改善多晶硅片出绒率的制绒方法,其特征在于,包括如下步骤:1)碱制绒:将原始金刚线切割多晶硅片放入加有时创添加剂的氢氧化钠碱溶液中进行碱抛;2)酸制绒:待步骤1)结束后,将硅片放入加有合德丰添加剂的氢氟酸和硝酸的混合溶液中,进行酸制绒后,产生制绒后的金刚线切割多晶硅片。
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