[发明专利]一种超快速的硅基表面质量检测系统在审
| 申请号： | 201810215816.4 | 申请日： | 2018-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN108445017A | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 李朝晖;王绍祥;冯元华;甄智燊;吴振华 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 陈伟斌 |
| 地址： | 510275 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及硅基表面质量检测的技术领域，更具体地，涉及一种超快速的硅基表面质量检测系统。包括以下装置：锁模飞秒脉冲光源，中红外光波滤波器，色散光纤，掺铒光纤放大器（EDFA），衍射光栅，基于透镜组成的4f成像系统，物镜，数字相干接收机，高速采样示波器以及数据处理恢复所需的电脑。另外还包括所需要用到的环形器，耦合器，光纤，光纤偏振控制器，准直器等。 | ||
| 搜索关键词： | 硅基表面 质量检测系统 掺铒光纤放大器 高速采样示波器 光纤偏振控制器 滤波器 飞秒脉冲光源 相干接收机 中红外光波 色散光纤 透镜组成 衍射光栅 质量检测 数据处理 环形器 准直器 耦合器 锁模 物镜 光纤 电脑 恢复 | ||
【主权项】：
1.一种超快速的硅基表面质量检测系统，其特征在于，包括锁模飞秒脉冲光源（1），中红外光波滤波器（2），色散光纤（3），掺铒光纤放大器（4），衍射光栅（9），基于透镜组成的4f成像系统，物镜（11），数字相干接收机（13），高速采样示波器（14）以及数据处理恢复所需的电脑（15），另外还包括实验中所需用到的一些光纤，环形器（7），耦合器，光纤偏振控制器（6），准直器（8）；还包括相位延迟线（5），透镜（10），硅基样品（12）；所述的锁模飞秒脉冲光源（1）、中红外光波滤波器（2）、色散光纤（3）、掺铒光纤放大器（4）依次连接，掺铒光纤放大器（4）再通过相位延迟线（5）或光纤偏振控制器（6）连接数字相干接收机（13），数字相干接收机（13）再连接示波器（14）以及电脑（15）；所述的光纤偏振控制器（6）还依次连接环形器（7）、准直器（8）、衍射光栅（9）、透镜（10）、物镜（11）、硅基样品（12）。
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