[发明专利]一种适用于G8铸锭炉全功率控制铸锭工艺

摘要

本发明公开了一种适用于G8铸锭炉全功率控制铸锭工艺，包括加热、熔融、结晶、退火和冷却五个阶段，对熔融、结晶和退火三个阶段的生产工艺步骤做了改进和完善，在铸锭炉的顶部加热器、底部加热器从功率上进行控制，不同时间段的加热器功率逐时调整，从而在现有技术的基础上获得G8硅锭的制备方法，制得的硅锭品质好，良品率高。

主权项

1.一种适用于G8铸锭炉全功率控制铸锭工艺，包括加热、熔融、结晶、退火和冷却五个阶段，其特征在于：所述熔融阶段工艺步骤如下：第一步，铸锭炉顶部加热器功率为120KW，底部加热器功率为100KW，持续时间60min；第二步，铸锭炉顶部加热器功率为140KW，底部加热器功率为120KW，炉内充入氩气，炉内气压600mbar，持续时间90min；第三步，铸锭炉顶部加热器功率为150KW，底部加热器功率为130KW，炉内持续充入氩气，炉内气压600mbar，持续时间150min；第四步，铸锭炉顶部加热器功率为165KW，底部加热器功率为150KW，炉内持续充入氩气，炉内气压600mbar，持续时间660min；第五步，铸锭炉顶部加热器功率为150KW，底部加热器功率为150KW，炉内持续充入氩气，炉内气压600mbar，持续时间118min；第六步，铸锭炉顶部加热器功率为120KW，底部加热器功率为150KW，炉内持续充入氩气，炉内气压600mbar，持续时间60min；所述结晶阶段工艺步骤如下：第一步，铸锭炉顶部加热器功率为84KW，底部加热器功率为88KW，炉内持续充入氩气，炉内气压600mbar，打开热门220mm，持续时间1min；第二步，铸锭炉顶部加热器功率为84KW，底部加热器功率为95KW，炉内持续充入氩气，炉内气压600mbar，打开热门550mm，持续时间120min；第三步，铸锭炉顶部加热器功率为84KW，底部加热器功率为90KW，炉内持续充入氩气，炉内气压600mbar，打开热门550mm，持续时间180min；第四步，铸锭炉顶部加热器功率为85KW，底部加热器功率为84KW，炉内持续充入氩气，炉内气压600mbar，打开热门550mm，持续时间260min；第五步，铸锭炉顶部加热器功率为85KW，底部加热器功率为77KW，炉内持续充入氩气，炉内气压600mbar，打开热门550mm，持续时间260min；第六步，铸锭炉顶部加热器功率为86KW，底部加热器功率为69KW，炉内持续充入氩气，炉内气压600mbar，打开热门550mm，持续时间280min；第七步，铸锭炉顶部加热器功率为86KW，底部加热器功率为60KW，炉内持续充入氩气，炉内气压600mbar，打开热门550mm，持续时间360min；第八步，铸锭炉顶部加热器功率为88KW，底部加热器功率为48KW，炉内持续充入氩气，炉内气压600mbar，打开热门550mm，持续时间360min；第九步，铸锭炉顶部加热器功率为90KW，底部加热器功率为21KW，炉内持续充入氩气，炉内气压600mbar，打开热门550mm，持续时间600min；第十步，铸锭炉顶部加热器功率为89KW，底部加热器功率为15KW，炉内持续充入氩气，炉内气压600mbar，打开热门550mm，持续时间120min；第十一步，铸锭炉顶部加热器功率为70KW，底部加热器功率为120KW，炉内持续充入氩气，炉内气压600mbar，热门关闭，持续时间1min；第十二步，铸锭炉顶部加热器功率为50KW，底部加热器功率为100KW，炉内持续充入氩气，炉内气压600mbar，热门关闭，持续时间90min；所述退火阶段工艺步骤如下：第一步，铸锭炉顶部加热器功率为100KW，底部加热器功率为100KW，炉内持续充入氩气，炉内气压600mbar，热门关闭，持续时间180min；第一步，铸锭炉顶部加热器功率为2KW，底部加热器功率为2KW，炉内持续充入氩气，炉内气压900mbar，热门关闭，持续时间200min；第二步，关闭铸锭炉顶部加热器，关闭底部加热器功率，炉内气压900mbar，完全打开热门，至硅锭冷却。