[发明专利]提高纵向灵敏度的压电式侧力传感器

摘要

本发明公开了提高纵向灵敏度的压电式侧力传感器，包括电子束焊接件、上盖、晶片、绝缘部件、基座和输出端口，上盖、晶片、基座均为圆片；绝缘部件为圆筒状；晶片设置在基座上侧，绝缘部件设置在晶片的边缘，上盖设置在晶片的上侧，电子束焊接件将上盖和绝缘部件连接；在绝缘部件上设置有一个通道，通道与输出端口连接；绝缘部件包括绝缘层和匹配部件，匹配部件采用与晶片相同的材料。本发明将现有的绝缘套的厚度减小，再通过与晶片有相同材质的匹配部件填补原有的绝缘套的空间，当传感器被正压时，由于绝缘套的厚度较小，不会对匹配部件和晶片所承受的正压力产生影响，匹配部件和晶片所承受的力量相同，减小了传感器的误差。

主权项

1.提高纵向灵敏度的压电式侧力传感器，其特征在于，包括电子束焊接件(1)、上盖(2)、晶片(3)、绝缘部件(4)、基座(5)和输出端口，所述上盖(2)、晶片(3)、基座(5)均为圆片；所述绝缘部件(4)为圆筒状；所述晶片(3)设置在基座(5)上侧，所述绝缘部件(4)设置在晶片(3)的边缘，所述上盖(2)设置在晶片(3)的上侧，所述电子束焊接件(1)将上盖(2)和绝缘部件(4)连接；在绝缘部件(4)上设置有一个通道，通道与输出端口连接；所述绝缘部件(4)包括绝缘层和匹配部件，所述匹配部件采用与晶片(3)相同的材料，所述绝缘层的内侧覆盖在晶片(3)的边缘，所述匹配部件覆盖在绝缘层的外侧。