[发明专利]解耦系统和用于解耦系统的方法在审

专利信息
申请号: 201810216980.7 申请日: 2018-03-16
公开(公告)号: CN108695197A 公开(公告)日: 2018-10-23
发明(设计)人: B·M·西亚德;N·P·赫卡索恩;D·海曼 申请(专利权)人: 英特尔公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/683
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 林金朝;王英
地址: 美国加*** 国省代码: 美国;US
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 公开了一种解耦系统,其包括被配置为跨越低压室的低压孔口耦合的偏转板。所述偏转板包括延伸通过偏转板的一个或多个真空孔。剥落凸缘在柔顺关节处与偏转板的其余部分耦合。管芯轮廓开口围绕剥落凸缘从柔顺关节以管芯轮廓的形状延伸。所述管芯轮廓开口将剥落凸缘与偏转板的其余部分分开。剥落凸缘包括放松构造和剥落构造,所述放松构造和剥落构造被配置为将管芯从管芯介质解耦。在放松构造中,所述剥落凸缘与所述偏转板的其余部分重合。在剥落构造中,剥落凸缘被偏转,并且凸缘的至少一部分与偏转板的其余部分间隔开。
搜索关键词: 剥落 偏转板 凸缘 管芯轮廓 解耦系统 柔顺关节 管芯 放松 开口 偏转 耦合 低压孔 低压室 真空孔 耦合的 延伸 重合 解耦 配置
【主权项】:
1.一种解耦系统,包括:偏转板,所述偏转板被配置为跨越低压室的低压孔口耦合,所述偏转板包括:延伸通过所述偏转板的一个或多个真空孔,剥落凸缘,其在柔顺关节处与所述偏转板的其余部分耦合,并且所述剥落凸缘从所述柔顺关节延伸到凸缘端部,以及管芯轮廓开口,其围绕所述剥落凸缘从所述柔顺关节以管芯轮廓的形状延伸,所述管芯轮廓开口将所述剥落凸缘与所述偏转板的所述其余部分分开;并且其中,所述剥落凸缘包括放松构造和剥落构造,所述放松构造和所述剥落构造被配置为将管芯从管芯介质解耦:在所述放松构造中,所述剥落凸缘与所述偏转板的所述其余部分重合,并且在所述剥落构造中,所述剥落凸缘在所述柔顺关节处相对于所述偏转板的所述其余部分偏转,并且所述凸缘端部与所述偏转板的所述其余部分间隔开。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于英特尔公司,未经英特尔公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201810216980.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top