[发明专利]一种LED芯片及其制备方法在审
申请号: | 201810217839.9 | 申请日: | 2018-03-16 |
公开(公告)号: | CN108400216A | 公开(公告)日: | 2018-08-14 |
发明(设计)人: | 赵炆兼;贾钊;杨凯;陈凯轩;张国庆 | 申请(专利权)人: | 扬州乾照光电有限公司 |
主分类号: | H01L33/44 | 分类号: | H01L33/44;H01L33/46 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 陈晓云 |
地址: | 225000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供了一种LED芯片及其制备方法,包括:提供一外延片;在所述单晶层之上形成具有若干介质孔的介质层;在所述介质层之上依次形成镜面反射层和第一键合层,使所述镜面反射层与所述介质孔暴露的所述单晶层形成遂穿效应;将完成上述步骤的所述外延片与具有第二键合层的硅片对位贴位,使所述第一键合层和所述第二键合层键合;剥离所述外延片的衬底和截止层,使所述外延片的欧姆接触层形成电极;在所述硅片的与所述第二键合层相反的一面形成金属层。 | ||
搜索关键词: | 键合层 外延片 镜面反射层 单晶层 介质层 介质孔 硅片 制备 欧姆接触层 电极 截止层 金属层 衬底 对位 键合 剥离 暴露 | ||
【主权项】:
1.一种LED芯片的制备方法,其特征在于,包括:提供一外延片;在所述单晶层之上形成具有若干介质孔的介质层;在所述介质层之上依次形成镜面反射层和第一键合层,使所述镜面反射层与所述介质孔暴露的所述单晶层形成遂穿效应;将完成上述步骤的所述外延片与具有第二键合层的硅片对位贴位,使所述第一键合层和所述第二键合层键合;剥离所述外延片的衬底和截止层,使所述外延片的欧姆接触层形成电极;在所述硅片的与所述第二键合层相反的一面形成金属层。
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