[发明专利]形状测定装置在审
| 申请号： | 201810218593.7 | 申请日： | 2018-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN108627136A | 公开（公告）日： | 2018-10-09 |
| 发明（设计）人： | 柏渕昌司;河原井一晃 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01B21/20 | 分类号： | G01B21/20 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种形状测定装置。形状测定装置(1)具有：第一立柱(11)和第二立柱(12)，其形成用于支承探针(7)的移动机构(10)的门型构造；第一引导部(21)，其由第一材质(钢铁)形成且对第一立柱(11)进行引导；第二引导部(22)，其与第一引导部(21)平行，且由与第一材质不同的第二材质(石材)形成，且对第二立柱(12)进行引导；第一支承体(31)，其将第一引导部(21)支承于基底(9)；第二支承体(32)，其将第二引导部(22)支承于基底(9)；以及热膨胀补偿部(40)，其用于补偿第一引导部(21)与第二引导部(22)的热膨胀差。 | ||
| 搜索关键词： | 第一引导部 立柱 形状测定装置 第二引导部 支承 支承体 基底 热膨胀补偿 热膨胀差 移动机构 门型 探针 石材 平行 钢铁 | ||
【主权项】：
1.一种形状测定装置，其特征在于，具有：第一立柱和第二立柱，所述第一立柱和第二立柱形成用于支承探针的移动机构的门型构造；第一引导部，其由第一材质形成且对所述第一立柱进行引导；第二引导部，其与所述第一引导部平行，且由与所述第一材质不同的第二材质形成，且对所述第二立柱进行引导；第一支承体，其对所述第一引导部进行支承；第二支承体，其对所述第二引导部进行支承；以及热膨胀补偿部，其设置于所述第一引导部、所述第二引导部、所述第一支承体以及所述第二支承体中的至少任一方，用于补偿所述第一引导部与所述第二引导部的热膨胀差。
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