[发明专利]加工方法在审
| 申请号： | 201810224379.2 | 申请日： | 2018-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN108687638A | 公开（公告）日： | 2018-10-23 |
| 发明（设计）人： | 竹之内研二 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B24B27/06 | 分类号： | B24B27/06;B24B57/02;B24B41/06;B24D5/12;H01L21/78 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 庞东成;褚瑶杨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种加工方法，该加工方法在对与切断预定线重叠地形成有包含金属的层叠体的板状的被加工物进行加工时，能够在维持加工品质的同时提高加工速度。该加工方法对与切断预定线重叠地形成有包含金属的层叠体的板状的被加工物进行加工，该加工方法具备下述步骤：保持步骤，利用保持工作台对被加工物进行保持；和切削步骤，在实施保持步骤后，利用环状的切削刀具沿着切断预定线对被加工物进行切削，分割层叠体；切削刀具具有在外周缘开口的狭缝，在切削步骤中，一边对被加工物供给包含有机酸和氧化剂的切削液，一边执行切削。 | ||
| 搜索关键词： | 被加工物 加工 切削 切断预定线 层叠体 切削刀具 板状 氧化剂 金属 切削液 外周缘 有机酸 工作台 狭缝 开口 分割 | ||
【主权项】：
1.一种加工方法，该加工方法对与切断预定线重叠地形成有包含金属的层叠体的板状的被加工物进行加工，其特征在于，该加工方法具备下述步骤：保持步骤，利用保持工作台对被加工物进行保持；和切削步骤，在实施该保持步骤后，利用环状的切削刀具沿着该切断预定线对被加工物进行切削，分割该层叠体，该切削刀具具有在外周缘开口的狭缝，在该切削步骤中，一边对被加工物供给包含有机酸和氧化剂的切削液，一边执行切削。
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