[发明专利]夹层式熔融石英偏振无关1×2分束光栅在审

专利信息
申请号: 201810225655.7 申请日: 2018-03-19
公开(公告)号: CN108761598A 公开(公告)日: 2018-11-06
发明(设计)人: 周常河;鲁云开 申请(专利权)人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
主分类号: G02B5/18 分类号: G02B5/18;G02B27/28
代理公司: 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 代理人: 张宁展
地址: 201800 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种用于1550纳米波段的夹层式熔融石英透射1×2偏振无关分束光,由矩形高密度深刻蚀光栅上加一层均匀熔融石英材料一体构成,该矩形光栅占空比为0.647~0.66、刻蚀深度为1.816~1.866微米、光栅周期为1.5微米,对TE和TM偏振光均可同时实现近乎理想的高效率1×2分束。该夹层式1×2偏振无关分束光栅可视为等效的法布里波罗(F‑P)腔,能有效抑制反射损失,在C+L波段和宽角度范围内使用。本发明光栅部分被夹在中间,可免于机械损伤和灰尘等,稳定性好。
搜索关键词: 夹层式 偏振无关 熔融石英 高密度深刻蚀光栅 偏振无关分束光栅 熔融石英材料 光栅 反射损失 分束光栅 光栅周期 机械损伤 矩形光栅 纳米波段 有效抑制 法布里 分束光 高效率 占空比 透射 分束 刻蚀
【主权项】:
1.一种用于1550纳米波段的夹层式熔融石英透射1×2偏振无关分束光栅,包括熔融石英基片(2)和深刻蚀在该熔融石英基片(2)上的矩形光栅(4),其特征在于,所述的矩形光栅(4)上还设有一层厚度均匀的熔融石英材料(3),所述的矩形光栅的占空比为0.647~0.66,刻蚀深度为1.816~1.866微米,矩形光栅的周期为1.5微米。
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