[发明专利]一种用于激光直写曝光机的自动升降的Z轴装置在审
| 申请号： | 201810226791.8 | 申请日： | 2018-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN108241263A | 公开（公告）日： | 2018-07-03 |
| 发明（设计）人： | 张小鹏 | 申请（专利权）人： | 合肥芯碁微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 宋倩;奚华保 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于激光直写曝光机的自动升降的Z轴装置，包括底板、自下而上依次设置在底板上方的楔形滑块和竖向滑块、与竖向滑块的端部滑动配合且与底板相连的竖向导轨、用于驱动楔形滑块水平运动的直线电机、与楔形滑块相连的光栅尺、设置在底板上的读数头以及用于平衡竖向滑块及负载重力的气缸或恒力弹簧；所述竖向滑块与楔形滑块之间以及楔形滑块与底板之间分别设有一交叉滚珠导轨。本发明能够将楔形滑块的水平运动转化为竖向滑块的竖向运动，并通过光栅尺与读数头确定竖向滑块竖向运动的距离，从而满足在竖直方向上移动到指定长度的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 竖向滑块 底板 楔形滑块 激光直写 竖向运动 水平运动 自动升降 读数头 光栅尺 曝光机 交叉滚珠导轨 负载重力 恒力弹簧 滑动配合 驱动楔形 竖向导轨 依次设置 直线电机 上移动 滑块 气缸 竖直 平衡 转化 | ||
【主权项】：
1.一种用于激光直写曝光机的自动升降的Z轴装置，其特征在于：包括底板、自下而上依次设置在底板上方的楔形滑块和竖向滑块、与竖向滑块的端部滑动配合且与底板相连的竖向导轨、用于驱动楔形滑块水平运动的直线电机、与楔形滑块相连的光栅尺、设置在底板上的读数头以及用于平衡竖向滑块及负载重力的气缸或恒力弹簧；所述竖向滑块与楔形滑块之间以及楔形滑块与底板之间分别设有一交叉滚珠导轨。
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