[发明专利]一种微波氮化镓器件物理基大信号模型建立方法及系统

摘要

本发明公开一种微波氮化镓器件物理基大信号模型建立方法及系统。该方法包括：获取对同一条工艺线上的各个氮化镓器件在不同输入功率下的测试结果数据；计算在每个输入功率下的测试结果数据的均值；基于该均值建立物理基大信号模型，并设置物理参数为标称值，进而得到拟合参数初值；筛选上边缘曲线和下边缘曲线对应的器件；建立上边缘器件和下边缘器件的物理基大信号模型；将拟合参数代入两个边缘器件的物理基大信号模型，对拟合参数以及物理参数进行调整，保证两个模型共用同一组拟合参数而物理参数不同，从而确定物理基大信号模型的拟合参数和物理参数。本发明的方案能够提高拟合参数提取的可信度和物理参数的准确度，从而提高模型的精度。

主权项

1.一种微波氮化镓器件物理基大信号模型建立方法，其特征在于，包括：获取对同一条工艺线上的各个待测微波氮化镓器件在不同输入功率下进行测试得到的测试结果数据；计算在每个所述输入功率下的所述测试结果数据的均值；基于所述测试结果数据的均值建立初步物理基大信号模型，并设置所述初步物理基大信号模型的物理参数为标称值，得到拟合参数初值；筛选各个所述微波氮化镓器件的测试结果数据所形成的曲线中与包迹上边缘曲线最靠近的曲线和与包迹下边缘曲线最靠近的曲线，得到上边缘器件曲线和下边缘器件曲线；所述上边缘器件为所述上边缘器件曲线所对应的所述微波氮化镓器件；所述下边缘器件为所述下边缘器件曲线所对应的所述微波氮化镓器件；建立基于所述上边缘器件的第一物理基大信号模型和基于所述下边缘器件的第二物理基大信号模型；将所述拟合参数初值代入所述第一物理基大信号模型和所述第二物理基大信号模型，并对所述第一物理基大信号模型的拟合参数和物理参数以及所述第二物理基大信号模型的拟合参数和物理参数进行微调，并保证所述第一物理基大信号模型和所述第二物理基大信号模型共用同一组拟合参数而物理参数不同，使仿真结果与所述上边缘器件和所述下边缘器件的测试结果数据之间的偏差满足预设阈值，从而得到目标拟合参数和目标物理参数。