[发明专利]一种掩膜安装组件和掩膜装置在审
申请号: | 201810228988.5 | 申请日: | 2018-03-20 |
公开(公告)号: | CN108441813A | 公开(公告)日: | 2018-08-24 |
发明(设计)人: | 徐鹏 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 刘悦晗;陈源 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种掩膜安装组件和掩膜装置,所述掩膜安装组件包括边框和第一拉伸组件,第一拉伸组件可转动的设置在边框的第一侧,用于与掩膜板的第一边缘连接,且能够通过转动方式对掩膜板施加拉力以拉伸所述掩膜板,相应第一拉伸组可以在掩膜板所在的平面内对掩膜板进行拉伸,从而相比于利用焊点拉伸掩膜板的方式可以提高掩膜板的图案部的平整性,相应可以提高掩膜板图案部的PPA的合格率,进而可以降低显示面板在蒸镀过程中产生混色不良的比率。 | ||
搜索关键词: | 掩膜板 安装组件 掩膜 边框 拉伸组件 掩膜装置 图案部 拉伸 边缘连接 焊点拉伸 显示面板 转动方式 可转动 拉伸组 平整性 混色 蒸镀 合格率 施加 | ||
【主权项】:
1.一种掩膜安装组件,包括边框,其特征在于,还包括第一拉伸组件,所述第一拉伸组件可转动的设置在所述边框的第一侧,用于与掩膜板的第一边缘连接,且能够通过转动方式对所述掩膜板施加拉力,以拉伸所述掩膜板。
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