[发明专利]一种载流式激光诱导击穿光谱在线成分分析仪

摘要

本发明涉及一种载流式激光诱导击穿光谱在线成分分析仪，包括双脉冲激光诱导击穿模块、光谱采集模块、主控与数据处理模块和液体载流模块四部分。双脉冲激光诱导击穿模块采用双脉冲合束激光系统，配合扩束聚焦镜组，能够实现激光光束自动聚焦。光谱采集模块采用三路光谱采集系统，能够增大光谱采集范围，提高光谱分辨率，满足多元素同时测量要求。主控与数据处理模块用于控制其它各模块协调工作，同时完成光谱测试与数据分析。液体载流模块能够将产生稳定的竖向束流，束流为定常层流，适用于牛顿液体在线成分检测，同时该模块能够对检测过程产生液滴溅射进行防护，降低在线成分检测设备光学元器件的污染情况，极大提高检测设备的可用性和维护性。

主权项

1.一种载流式激光诱导击穿光谱在线成分分析仪，其特征在于，包括：双脉冲激光诱导击穿模块(100)，将两束激光合束，再扩束后聚焦在液体样品(500)上，在液体样品(500)的击穿处产生等离子体发射光谱；光谱采集模块(200)，采集液体样品(500)被击穿处产生的等离子体发射光谱，并将光谱信息上传给主控与数据处理模块(300)；主控与数据处理模块(300)，分别连接双脉冲激光诱导击穿模块(100)、光谱采集模块(200)、液体载流模块(400)，控制上述三个模块协调工作，对等离子体光谱的多元素浓度含量进行测定；液体载流模块(400)，用于将液体样品(500)产生定常层流液柱，并且对液柱流动状态和等离子体发射光谱进行监控，以及通过其内部的风墙和气刀对检测过程产生液滴溅射进行隔离，避免分析仪的光学系统受到污染。