[发明专利]电子级多晶硅的制备方法有效
| 申请号： | 201810230520.X | 申请日： | 2018-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN108467042B | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 严大洲;杨永亮;万烨;汤传斌;张升学;姜利霞;石何武;张志刚;赵雄 | 申请（专利权）人： | 中国恩菲工程技术有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03 |
| 代理公司： | 11240 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 韩建伟;谢湘宁 |
| 地址： | 100038*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种电子级多晶硅的制备方法。该制备方法包括：将三氯氢硅液体和/或氯硅烷液体进行提纯，得到三氯氢硅，氯硅烷液体包括三氯氢硅；及采用氢气与三氯氢硅进行还原反应，得到电子级多晶硅，提纯步骤包括：对三氯氢硅液体和/或氯硅烷液体进行第一精馏过程，得到三氯氢硅粗产品；将三氯氢硅粗产品与络合剂发生络合反应，以使三氯氢硅粗产品中的杂质转化为络合物，得到中间产物，其中杂质包括B、P和Fe、Al组成的组中的一种或多种；及将中间产物进行第二精馏过程，以去除络合物，得到三氯氢硅。将纯度较高的三氯氢硅原料与氢气发生还原反应，得到电子级多晶硅。上述制备方法的工艺流程成熟简单，具有能耗低、产品质量稳定等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 三氯氢硅 电子级多晶硅 制备 氯硅烷液体 粗产品 三氯氢硅液体 还原反应 络合物 提纯 精馏 络合反应 氢气发生 质量稳定 氢气 工艺流程 络合剂 去除 能耗 成熟 转化 | ||
【主权项】：
1.一种电子级多晶硅的制备方法，包括：/n将三氯氢硅液体和/或氯硅烷液体进行提纯，得到三氯氢硅，所述氯硅烷液体包括三氯氢硅；及/n采用氢气与所述三氯氢硅进行还原反应，得到所述电子级多晶硅，/n其特征在于，所述提纯步骤包括：/n对所述三氯氢硅液体和/或所述氯硅烷液体进行第一精馏过程，得到三氯氢硅粗产品；/n将所述三氯氢硅粗产品与络合剂发生络合反应，以使所述三氯氢硅粗产品中的杂质转化为络合物，得到中间产物，其中所述杂质包括B、P和Fe、Al组成的组中的一种或多种，所述络合剂选自三苯基氯甲烷或三苯基氯甲烷和芳香醛的混合物；及/n将所述中间产物进行第二精馏过程，以去除所述络合物，得到所述三氯氢硅；/n所述还原反应的产物还包括还原尾气，所述制备方法还包括将所述还原尾气进行回收的步骤，所述回收步骤包括：/n将所述还原尾气进行冷凝，得到粗氢气和吸附有氯化氢的氯硅烷液体，所述冷凝的温度为-50～-30℃；/n采用活性炭对所述粗氢气进行第一次吸附，得到一级净化物；其中所述活性炭的比表面积为400～800m
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